一、概念
高精密洁净环境室是恒温恒湿洁净室的一种，指温度控制精度在±0.5℃以下，相对湿度控制精度在±5%RH以下且空气悬浮粒子、微生物浓度和压力等参数也严格受控的房间或限定空间。
二、分类
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超高精密恒温恒湿实验室 |
温度控制精度±0.01~0.1℃ |
相对湿度控制精度±1%RH |
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高精密恒温恒湿实验室 |
温度控制精度±0.1~0.3℃ |
相对湿度控制精度±2%RH |
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精密恒温恒湿实验室 |
温度控制精度±0.3~0.5℃ |
相对湿度控制精度±3~5%RH |
三、方案要点
1、房间朝向
2、保温密闭
3、负荷计算
4、风量计算
5、系统选择
6、送回风方式
7、精度控制
8、节能控制
四、精密环控系统（控制箱、控制柜）
精密环控箱（柜）主要为光刻机、激光干涉仪等精密测量、精密制造设备提供超高精度温湿度、洁净度的工作环境。
精密环境控制系统（精密环境控制箱、精密环境控制柜）可实现洁净度百级、十级、一级，温度波动值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.005℃等精密环境控制。
目前我司已为相关领域客户提供了稳定的实验室环境以及监测服务。